阿特拉斯真空泵半導體行業(yè)真空爐中的應用

一、真空爐結構：

　　真空爐結構一般由主機、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運輸車等組成。

　　(1)真空爐殼：

　　密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。

　　(2)真空爐膛：

　　爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用途，爐膛內部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。

　　(3)坩堝：

　　熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。

　　(4)真空系統(tǒng)：

　　真空爐的真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。

　　二、真空爐工作原理：

　　工作原理即通過抽取真空，形成一個幾乎沒有空氣的低壓環(huán)境，然后利用水在低壓(低于大氣壓)低溫沸騰產生蒸汽，通過汽水凝結換熱方式將熱量輸出的原理工作的。

　　三、真空設備：

　　從真空獲得上分機械泵、機械泵+擴散泵、機械泵+分子泵。

　　真空爐種類繁多，對真空系統(tǒng)的要求也不盡相同。就真空而言，有低真空、中真空和高真空系統(tǒng)。

　　1.低真空系統(tǒng)低真空系統(tǒng)適用于真空范圍為2~1333Pa的真空熱處理爐，如預抽式低真空井式爐。大多數泵是基于油封的旋轉泵。

　　2.中真空系統(tǒng)適用于真空度為3x10~1.333Pa的真空熱處理爐，中真空系統(tǒng)在真空熱處理爐中應用最為廣泛，通常由兩級真空泵機組組成。主泵采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵(羅慈朋)或油增壓泵的高真空系統(tǒng)

　　3.高真空系統(tǒng)適用于6.6x 10~1.333x10的真空度。真空熱處理爐Pa系列，如真空退火爐、真空釬焊爐，通常由三級真空泵組成，主泵常用的有油擴散泵、離子泵，泵多采用一級旋轉機械泵或旋轉活塞泵.

　　四、應用

　　廣泛用于半導體行業(yè)的電力電子器件、玻封二級管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結、封裝、焊接、合金、退火等工藝。

　　五、阿特拉斯GVS系列旋片真空泵在真空爐的應用優(yōu)勢：

　　Atlas Copco 阿特拉斯·科普柯 GVS 單級油潤滑旋片式真空泵

　　GVS 20-300: 單級油潤滑旋片式真空泵，20-365 m3/h，10.5-215 cfm阿特拉斯·科普柯的 GVS 20-300 系列產品是一款堅固可靠、具有創(chuàng)新功能的單級油潤滑旋片式真空泵。

　　性能高效的 GVS 20-300 系列真空泵非常適合應用于包裝、木材加工、橡膠、塑料、電子、造紙和印刷、物料輸送等要求嚴苛的應用。該系列產品具有 8 種(抽速為 20-365 m3/h)的機型，總有一款產品能滿足您的需求。

　　客戶利益

　　高可靠性 – 堅固的設計，整個壓力范圍內油保持能力優(yōu)異。單向進氣閥保護真空泵免受反轉損傷。

　　即插即用式機型 - 緊湊、節(jié)約空間的設計易于安裝。

　　易于維護 - 合理的轉速，低磨損?？梢杂杀ｐB(yǎng)壓縮空氣設備的同一個工程師完成真空泵的保養(yǎng)。

　　整個壓力范圍內噪音和振動較低

　　潔凈高效 - GVS 20-300 優(yōu)化設計的油分離回路可最大程度地減少排氣中的油蒸汽。單向進氣閥不僅可防止真空泵在無通風條件下停機時發(fā)生反轉，還能防止使用點發(fā)生油回吸的現(xiàn)象。