在真空泵中，真空泵油不僅用作獲得真空的介質，而且還潤滑，冷卻和密封機械摩擦點。

　　1.極低的蒸氣壓這是真空泵油最重要的性能。由于真空泵要求的真空度為1.33 × 10-4Pa(10-6mmHg)，因此高要求為1.33 × 10-4Pa(10-6mmHg)。在下文中，要求真空泵油具有極低的蒸發(fā)性。通常，使用基于石蠟的窄餾分潤滑油，并且對于擴散真空泵，可以使用具有低蒸氣壓的硅油或其他合成油。

　　2.適當?shù)恼扯群土己玫恼扯葴囟忍匦?a data-mid="85" href="http://www.tzdyxh.com/p/41">真空系統(tǒng)利用泵腔的內(nèi)部容積連續(xù)變化以形成排氣作用。潤滑油應具有合適的粘度和良好的粘度-溫度特性。

　　3.良好的熱氧化穩(wěn)定性真空泵一直在高速發(fā)展。由于滑動件和泵體之間的高速摩擦，油溫升高，從而加劇了油的熱量和氧化。擴散泵通常在較高的環(huán)境溫度下運行，因此系統(tǒng)中的蒸氣壓增加并且真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化穩(wěn)定性。

　　4.良好的耐腐蝕性和抗乳化性。如果真空泵吸入腐蝕性氣體，它將腐蝕泵中金屬零件和機油中的化學變化。另外，吸入的空氣中經(jīng)常含有水蒸氣，這會導致真空泵油的乳化，因此需要具有良好的耐腐蝕性和抗乳化性。在真空脫水過程中使用的真空泵油的乳化作用更為突出。

　　5.較高的閃點要求真空泵不攜帶輕組分，以免影響油的飽和蒸氣壓。

　　6.較低的極限壓力極限壓力是了解真空泵油在最低真空極限壓力下的極限壓力的重要性能指標。